高纯度气体

概述

高纯度气体以极低的杂质水平生产，适用于即使微量污染也会影响产品质量的工艺。我们的产品系列涵盖用于半导体、太阳能电池和电子制造的硅烷、笑气和氨气。

主要特性

• 为敏感工艺提供极低杂质水平
• 配备合适阀门和接头的气瓶供应
• 硅烷具有自燃性，接触空气即燃烧
• 需经过培训处理并配备专用气体系统

常见应用

• 半导体晶圆制造
• 太阳能电池制造
• LED和显示屏生产
• 电子研发

可选供应形式